IEC 62047-32:2019 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 32: Prüfverfahren für die nichtlineare Schwingung von MEMS-Resonatoren
2019IEC 62047-32:2019 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 32: Prüfverfahren für die nichtlineare Schwingung von MEMS-Resonatoren