DIN 50450-1:1987-08
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Bestimmung von Verunreinigungen in Trägergasen und Dotierungsgasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mithilfe einer Diphosphorpentoxidzelle

Standard-Nr.

DIN 50450-1:1987-08

Erscheinungsdatum

1987

Organisation

German Institute for Standardization

Letzte Version

DIN 50450-1:1987-08

DIN 50450-1:1987-08 Veröffentlichungsverlauf

• 1987 DIN 50450-1:1987-08 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Bestimmung von Verunreinigungen in Trägergasen und Dotierungsgasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mithilfe einer Diphosphorpentoxidzelle
• 1987 DIN 50450-1:1987 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Bestimmung von Verunreinigungen in Trägergasen und Dotierungsgasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mithilfe einer Diphosphorpentoxidzelle