ASTM F614-80(1991)e1
Testmethode für die Verzerrung optischer Linsen, die bei der Herstellung von Fotomasken verwendet werden

Standard-Nr.

ASTM F614-80(1991)e1

Erscheinungsdatum

1991

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Letzte Version

ASTM F614-80(1991)e1

ASTM F614-80(1991)e1 Veröffentlichungsverlauf

• 1991 ASTM F614-80(1991)e1 Testmethode für die Verzerrung optischer Linsen, die bei der Herstellung von Fotomasken verwendet werden