KS C IEC 62047-18-2021
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

KS C IEC 62047-18-2021

Erscheinungsdatum

2021

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Letzte Version

KS C IEC 62047-18-2021

KS C IEC 62047-18-2021 Veröffentlichungsverlauf

• 2021 KS C IEC 62047-18-2021 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
• 2016 KS C IEC 62047-18:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien