T/CASAS 032-2023
Testmethode für den Gehalt an Metallelementen auf der Oberfläche von Siliziumkarbid-Wafern – Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CASAS 032-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CASAS 032-2023

T/CASAS 032-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 T/CASAS 032-2023 Testmethode für den Gehalt an Metallelementen auf der Oberfläche von Siliziumkarbid-Wafern – Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma