T/CASME 134-2022
Atomlagenabscheidungsreaktor zur Partikeloberflächenbeschichtung (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CASME 134-2022

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2022

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CASME 134-2022

T/CASME 134-2022 Veröffentlichungsverlauf

• 2022 T/CASME 134-2022 Atomlagenabscheidungsreaktor zur Partikeloberflächenbeschichtung