T/CEMIA 033-2023
Quarzglas-Ofenrohre für 8 Zoll (200 mm) und 12 Zoll (300 mm) für den Halbleiterfertigungsprozess (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CEMIA 033-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CEMIA 033-2023

T/CEMIA 033-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 T/CEMIA 033-2023 Quarzglas-Ofenrohre für 8 Zoll (200 mm) und 12 Zoll (300 mm) für den Halbleiterfertigungsprozess