GB/T 37049-2018 Prüfverfahren für den Gehalt an Metallverunreinigungen in Polysilizium elektronischer Qualität – Massenspektrometrieverfahren mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)
2018GB/T 37049-2018 Prüfverfahren für den Gehalt an Metallverunreinigungen in Polysilizium elektronischer Qualität – Massenspektrometrieverfahren mit induktiv gekoppeltem Plasma