IEC 62047-31:2019
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 31: Vierpunkt-Biegetestverfahren für die Grenzflächenadhäsionsenergie von geschichteten MEMS-Materialien
- Standard-Nr.
- IEC 62047-31:2019
- Erscheinungsdatum
- 2019
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-31:2019
IEC 62047-31:2019 Veröffentlichungsverlauf
- 2019 IEC 62047-31:2019 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 31: Vierpunkt-Biegetestverfahren für die Grenzflächenadhäsionsenergie von geschichteten MEMS-Materialien
- 2017 IEC 62047-31:2017 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 31: Vierpunkt-Biegetestverfahren für die Grenzflächenadhäsionsenergie geschichteter MEMS-Materialien (Ausgabe 1.0)
