NF EN 62047-8:2011
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Verfahren zur Prüfung der Streifenbiegung zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme

Standard-Nr.

NF EN 62047-8:2011

Erscheinungsdatum

2011

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-8:2011

NF EN 62047-8:2011 Veröffentlichungsverlauf

• 2011 NF EN 62047-8:2011 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 8: Verfahren zur Prüfung der Streifenbiegung zur Messung der Zugeigenschaften dünner Filme