ISO 14644-9:2022
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich der Partikelkonzentration
- Standard-Nr.
- ISO 14644-9:2022
- Erscheinungsdatum
- 2022
- Organisation
- International Organization for Standardization (ISO)
- Letzte Version
- ISO 14644-9:2022
ISO 14644-9:2022 Veröffentlichungsverlauf
- 2022 ISO 14644-9:2022 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Bewertung der Oberflächenreinheit hinsichtlich der Partikelkonzentration
- 2012 ISO 14644-9:2012 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächenreinheit nach Partikelkonzentration
