T/CNIA 0061-2020
Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Siliziumtetrachlorid für die Siliziumepitaxie durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CNIA 0061-2020

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2020

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CNIA 0061-2020

T/CNIA 0061-2020 Veröffentlichungsverlauf

• 2020 T/CNIA 0061-2020 Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Siliziumtetrachlorid für die Siliziumepitaxie durch Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma