DB32/T 4378-2022
Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche (Englische Version)

Standard-Nr.
DB32/T 4378-2022
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2022
Organisation
Jiangsu Provincial Standard of the People's Republic of China
Letzte Version
DB32/T 4378-2022

DB32/T 4378-2022 Veröffentlichungsverlauf

  • 2022 DB32/T 4378-2022 Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche
Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche



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