DB32/T 4378-2022 Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche (Englische Version)
Jiangsu Provincial Standard of the People's Republic of China
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DB32/T 4378-2022
DB32/T 4378-2022 Veröffentlichungsverlauf
2022DB32/T 4378-2022 Vier-Sonden-Methode zur zerstörungsfreien Prüfung des Schichtwiderstands von dünnen Filmen im Nanometer- und Submikronbereich auf der Substratoberfläche