DIN EN 62047-20:2015-04 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 20: Gyroskope (IEC 62047-20:2014); Deutsche Fassung EN 62047-20:2014
2015DIN EN 62047-20:2015-04 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 20: Gyroskope (IEC 62047-20:2014); Deutsche Fassung EN 62047-20:2014
2015DIN EN 62047-20:2015 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 20: Gyroskope (IEC 62047-20:2014); Deutsche Fassung EN 62047-20:2014
1970DIN EN 62047-20 E:2012-07 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 20: Gyroskope