NF EN 62047-16:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmungs- und Auslegerablenkungsverfahren

Standard-Nr.

NF EN 62047-16:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-16:2015

NF EN 62047-16:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 NF EN 62047-16:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmungs- und Auslegerablenkungsverfahren