KS C IEC 62047-18-2016(2021)
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

KS C IEC 62047-18-2016(2021)

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Letzte Version

KS C IEC 62047-18-2016(2021)

KS C IEC 62047-18-2016(2021) Veröffentlichungsverlauf

• 2021 KS C IEC 62047-18-2021 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
• 2016 KS C IEC 62047-18:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien