DB53/T 501-2013
Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma zur Bestimmung des Trichlorsilan-Verunreinigungselementgehalts in Polysilicium (Englische Version)

Standard-Nr.

DB53/T 501-2013

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2013

Organisation

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

Letzte Version

DB53/T 501-2013

DB53/T 501-2013 Veröffentlichungsverlauf

• 2013 DB53/T 501-2013 Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma zur Bestimmung des Trichlorsilan-Verunreinigungselementgehalts in Polysilicium