T/ICMTIA 4.1-2020
ArF-Fotoresistmonomer für integrierte Schaltkreise Teil 1: Flüssiges Methacrylat (Englische Version)

Standard-Nr.

T/ICMTIA 4.1-2020

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2020

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/ICMTIA 4.1-2020

T/ICMTIA 4.1-2020 Veröffentlichungsverlauf

• 2020 T/ICMTIA 4.1-2020 ArF-Fotoresistmonomer für integrierte Schaltkreise Teil 1: Flüssiges Methacrylat