EN 62047-16:2015
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmung und Auslegerablenkungsverfahren

Standard-Nr.

EN 62047-16:2015

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

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EN 62047-16:2015

EN 62047-16:2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 EN 62047-16:2015 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 16: Prüfverfahren zur Bestimmung der Eigenspannungen von MEMS-Filmen – Waferkrümmung und Auslegerablenkungsverfahren