BS ISO 21859:2019
Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik). Prüfverfahren für die Plasmabeständigkeit keramischer Komponenten in Halbleiterfertigungsanlagen

Standard-Nr.

BS ISO 21859:2019

Erscheinungsdatum

2019

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS ISO 21859:2019

BS ISO 21859:2019 Veröffentlichungsverlauf

• 2019 BS ISO 21859:2019 Feinkeramik (Hochleistungskeramik, technische Hochleistungskeramik). Prüfverfahren für die Plasmabeständigkeit keramischer Komponenten in Halbleiterfertigungsanlagen