KS I ISO 14644-13:2019
Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 13: Reinigung von Oberflächen, um definierte Reinheitsgrade in Bezug auf Partikel- und Chemikalienklassifizierungen zu erreichen

Standard-Nr.

KS I ISO 14644-13:2019

Erscheinungsdatum

2019

Organisation

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

Letzte Version

KS I ISO 14644-13:2019

KS I ISO 14644-13:2019 Veröffentlichungsverlauf

• 2019 KS I ISO 14644-13:2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 13: Reinigung von Oberflächen, um definierte Reinheitsgrade in Bezug auf Partikel- und Chemikalienklassifizierungen zu erreichen