SJ 20636-1997
Testverfahren für den Sauerstoff- und Kohlenstoffgehalt von dünnen Siliziumwafern mit großem Durchmesser im Mikrobereich zur Verwendung in IC (Englische Version)
- Standard-Nr.
- SJ 20636-1997
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 1997
- Organisation
- Professional Standard - Electron
- Letzte Version
- SJ 20636-1997
SJ 20636-1997 Veröffentlichungsverlauf
- 1997 SJ 20636-1997 Testverfahren für den Sauerstoff- und Kohlenstoffgehalt von dünnen Siliziumwafern mit großem Durchmesser im Mikrobereich zur Verwendung in IC
