KS I ISO 14644-13-2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 13: Reinigung von Oberflächen, um definierte Reinheitsgrade in Bezug auf Partikel- und Chemikalienklassifizierungen zu erreichen
2019KS I ISO 14644-13-2019 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen – Teil 13: Reinigung von Oberflächen, um definierte Reinheitsgrade in Bezug auf Partikel- und Chemikalienklassifizierungen zu erreichen