UNE-EN ISO 23216:2023 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)
2023UNE-EN ISO 23216:2023 Kohlenstoffbasierte Filme – Bestimmung der optischen Eigenschaften amorpher Kohlenstofffilme mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)