NF EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Krümmungs- und Schertestverfahren zur Messung des Adhäsionswiderstands für MEMS-Strukturen
2012NF EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Krümmungs- und Schertestverfahren zur Messung des Adhäsionswiderstands für MEMS-Strukturen