YS/T 14-1991
Verfahren zur Messung der Dicke einer heteroepitaktischen Schicht und einer polykristallinen Siliziumschicht (Englische Version)

Standard-Nr.

YS/T 14-1991

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

1991

Organisation

Professional Standard - Non-ferrous Metal

Zustand

ersetzt werden 2015-10

ersetzt durch

YS/T 14-2015

Letzte Version

YS/T 14-2015

YS/T 14-1991 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 YS/T 14-2015 Verfahren zur Messung der Dicke einer heteroepitaktischen Schicht und einer polykristallinen Siliziumschicht
• 1991 YS/T 14-1991 Verfahren zur Messung der Dicke einer heteroepitaktischen Schicht und einer polykristallinen Siliziumschicht