BS IEC 63068-2:2019
Halbleiterbauelemente. Kriterien zur zerstörungsfreien Erkennung von Defekten in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente – Prüfverfahren für Defekte mittels optischer Inspektion
- Standard-Nr.
- BS IEC 63068-2:2019
- Erscheinungsdatum
- 2019
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS IEC 63068-2:2019
BS IEC 63068-2:2019 Veröffentlichungsverlauf
- 2019 BS IEC 63068-2:2019 Halbleiterbauelemente. Kriterien zur zerstörungsfreien Erkennung von Defekten in homoepitaktischen Siliziumkarbid-Wafern für Leistungsbauelemente – Prüfverfahren für Defekte mittels optischer Inspektion
