T/SEPA 5-2022 MEMS-Fertigungstechnologie der faseroptischen Ultraschallsensorsonde EFPI zur Teilentladungserkennung Teil 2: Messung und Regelung der Eigenspannung (Englische Version)
2022T/SEPA 5-2022 MEMS-Fertigungstechnologie der faseroptischen Ultraschallsensorsonde EFPI zur Teilentladungserkennung Teil 2: Messung und Regelung der Eigenspannung