ASTM F1049-00
Standardpraxis für die Erkennung flacher Ätzgruben auf Siliziumwafern
- Standard-Nr.
- ASTM F1049-00
- Erscheinungsdatum
- 2000
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F1049-02
- Letzte Version
- ASTM F1049-02
ASTM F1049-00 Normative Verweisungen
- ASTM D5127 Standardhandbuch für Reinstwasser zur Verwendung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie
- ASTM F154
- ASTM F1725 Standardhandbuch zur Analyse der kristallographischen Perfektion von Siliziumbarren
- ASTM F1727 Standardpraxis zur Erkennung von durch Oxidation verursachten Defekten in polierten Siliziumwafern
- ASTM F1809 Standardhandbuch für die Auswahl und Verwendung von Ätzlösungen zur Darstellung struktureller Defekte in Silizium
- ASTM F1810
ASTM F1049-00 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1049-02
- 2000 ASTM F1049-00 Standardpraxis für die Erkennung flacher Ätzgruben auf Siliziumwafern
