PAS 1022-2004
Referenzverfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Materialeigenschaften und der Schichtdicke dünner Filme mittels Ellipsometrie
Start
PAS 1022-2004
Standard-Nr.
PAS 1022-2004
Erscheinungsdatum
2004
Organisation
German Institute for Standardization
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