SILI WAFER BOND TECH VLSI MEMS APPL-2002
Siliziumwafer-Bonding-Technologie für VLSI- und MEMS-Anwendungen

Standard-Nr.

SILI WAFER BOND TECH VLSI MEMS APPL-2002

Erscheinungsdatum

2002

Organisation

IET - Institution of Engineering and Technology