SEMI F20-0706E (Reapproved 0611)-2011
SPEZIFIKATION FÜR STANGEN, SCHMIEDETEILE, STRANGSTRANGFORMEN, PLATTEN UND ROHRE AUS EDELSTAHL 316L FÜR KOMPONENTEN, DIE FÜR ALLGEMEINE, HOCHREINE UND ULTRAHOCHREINE HALBLEITERHERSTELLUNGSANWENDUNGEN VERWENDET WERDEN