23/30454374 DC
BS EN IEC 62047-47. Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte – Teil 47. Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Messverfahren zur Biegefestigkeit von Mikrostrukturen

Standard-Nr.

23/30454374 DC

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

British Standards Institution (BSI)

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