ASTM F907-85E01R92
Testverfahren zur Messung der Rotationsbeschleunigung eines Wafers für die Photoresist-Schleuderbeschichtung

Standard-Nr.

ASTM F907-85E01R92

Erscheinungsdatum

1996

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F907-85(1992)e1

Letzte Version

ASTM F907-85(1992)e1

ASTM F907-85E01R92 Veröffentlichungsverlauf

• 1996 ASTM F907-85(1992)e1 Testverfahren zur Messung der Rotationsbeschleunigung eines Wafers für die Photoresist-Schleuderbeschichtung
• 0000 ASTM F907-85E01