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BS EN IEC 62047-46. Halbleiterbauelemente. Mikroelektromechanische Geräte – Teil 46. Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie. Messmethode der Zugfestigkeit einer nanoskaligen Membran

Standard-Nr.

23/30454370 DC

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

British Standards Institution (BSI)

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