prEN ISO 25178-603 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 603: Design und Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (Phasenverschiebungsinterferometrie) (ISO/DIS 25178-603:2023)
2013EN ISO 25178-603:2013 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 603: Nominale Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (phasenverschiebende interferometrische Mikroskopie).
2009EN ISO 25178-603:2009 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 603: Nominelle Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (phasenverschiebende interferometrische Mikroskopie).